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第80章 技术突破

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束,进而在高次谐波上辐射出高强度窄带宽相干光,以此来缩短波长……”

“哈哈哈哈……另辟蹊径,果然是天才出少年!”

“这个叫杨小秋的丫头,天赋已经远远超过了我们这帮糟老头子,哈哈哈……”

梁松大声笑着。

在他看来,杨小秋提出的这项“稳态微聚束”理论简直是颠覆性的创造!甚至可以彻底改变国际沿用了几十年的光刻法则!

所谓的稳态微聚束,是指用1064nm级别的波长激光,操控存储环内的电子束,使电子束环绕一整圈后形成精细的微结构,

这个结构叫做微聚束。

其原理是利用了电子的光学相位,能以短于激光波长的精度逐圈关联,使得电子可以被稳态的束缚在光线内……

简单来说,它可以在微结构层面,直接缩短激光的波长!

根据杨小秋提供的理论数据,微聚束结构可以将微波的波长缩短5至6个数量级!

改造后的波长可以覆盖从太赫兹到极紫外波段,应用于实际,完全可以实现大功率、高中频以及窄相带宽的辐射波,大大缩短光刻光源的波长!

目前国内最先进的光刻机是DUV-193nm光源,极限曝光的精度是90nm,

而微聚束结构,可以将193nm的长波直接变成76nm的短波……以此制造的芯片精度,也将从极限90nm变成10nm!

10nm级别,已经是世界第一梯队了。

它的出现,将直接导致红果等巨头企业对国内的芯片封锁不攻自破!

一旦国内的光刻机技术,从193nm发展到100nm以内,再有这项技术的加持,到时候甚至可以直接制造出5nm甚至3nm的芯片!

到时候,敌人的芯片就是垃圾!

老子不稀罕,我们自己就有!

梁松的呼吸渐渐急促,整个人都陷入了亢奋状态。

如果只是一个理论概念,梁松还不至于这么激动。

杨小秋直接提供了这项技术所需要的所有参数和注意事项,甚至就连结构图示也标注的清清楚楚,减少了九成九的弯路。

有了详细数据,以华芯国际的实力,完全可以在短时间内将其应用于实际生产中!

他苦苦探索大半辈子的东西,居然就这样轻而易举的被一个后辈解决了!

梁松的目光剧烈动荡。

能做出这么详细的数据,这


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